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激光干涉比長儀工作基準(zhǔn)裝置

激光干涉比長儀工作基準(zhǔn)裝置是線紋尺類長度量值傳遞的重要標(biāo)準(zhǔn)器，該裝置測量范圍為（0~1000）mm，不確定度優(yōu)于（0.1+0.1L）μm。，可承擔(dān)高等別線紋尺（玻璃、金屬）、光柵尺、各類線位移傳感器測量裝置量值溯源傳遞工作，置具有極為重要的社會經(jīng)濟(jì)價值。

3、激光干涉比長儀工作基準(zhǔn)裝置（高儀團(tuán)隊科研產(chǎn)品2）.jpg