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論文名稱
一等量塊光波干涉測量要件
發(fā)表刊物
《紅外與激光工程》
發(fā)表年度
2008
論文作者
黃曉榮、李小林
承擔單位
力學所
收錄情況
關鍵詞
一等量塊； 干涉條紋小數； 研合性； 溫度；
摘要
以高精度干涉條紋小數測量、研合膜厚度的量化控制與量塊內部溫度測量為重點,對進行一等量塊光波干涉測量的各要件進行了分析,并引用國際比對結果予以了驗證。
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