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8月29日，同濟(jì)大學(xué)物理科學(xué)與工程學(xué)院院長、精密光學(xué)工程技術(shù)研究所所長程鑫彬教授，受邀來我院進(jìn)行學(xué)術(shù)交流。

交流會(huì)上，程教授圍繞“扁平化納米計(jì)量與集成電路應(yīng)用”主題，分享了納米計(jì)量技術(shù)的最新進(jìn)展及其對集成電路產(chǎn)業(yè)的深遠(yuǎn)影響，介紹了扁平化納米計(jì)量技術(shù)在集成電路產(chǎn)業(yè)中的重要作用，并著重強(qiáng)調(diào)了其高精度、高通量的優(yōu)勢。

程教授還對我院機(jī)械研究所的掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡、微納標(biāo)準(zhǔn)樣板等先進(jìn)測量設(shè)備的計(jì)量服務(wù)，以及納米線寬標(biāo)準(zhǔn)裝置的研究工作進(jìn)展，給予了肯定，更是對“微納米計(jì)量及先進(jìn)材料計(jì)量測試技術(shù)”研究項(xiàng)目的建設(shè)與發(fā)展提出了寶貴建議，為后續(xù)技術(shù)研發(fā)與應(yīng)用提供了思路和方向。

下一步，機(jī)械研究所將加強(qiáng)與同濟(jì)大學(xué)及國家集成電路微納檢測設(shè)備產(chǎn)業(yè)計(jì)量測試中心的交流與合作，加大納米計(jì)量及測試技術(shù)方法的研發(fā)力度，進(jìn)一步完善我院納米長度體系建設(shè)。