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納米計(jì)量及材料實(shí)驗(yàn)室簡(jiǎn)介
1.微納米計(jì)量
圍繞集成電路及先進(jìn)材料產(chǎn)業(yè)建立了微納米計(jì)量能力，開展以下設(shè)備的溯源業(yè)務(wù)：
掃描電子顯微鏡（SEM）、白光干涉儀、共聚焦顯微鏡、高等別玻璃線紋尺、一維二維光學(xué)樣板、微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板、微納米臺(tái)階高度（深度）標(biāo)準(zhǔn)樣板、X射線衍射儀、動(dòng)態(tài)光散射力度分析儀、光透沉降粒度儀、氣溶膠粒徑譜儀、微粒檢測(cè)儀、物理吸附儀、靜態(tài)熱機(jī)械分析儀等。
2.材料測(cè)試
3. 聯(lián)系方式：
檢定/校準(zhǔn)/檢測(cè)/測(cè)試：
聯(lián)系人：李興興 聯(lián)系電話：028-84403721
